Fabrication et caractérisation d'une structure de résistance métallique en salle blanche EPFL CMi

Ce projet s'est concentré sur les aspects pratiques de la fabrication de systèmes microélectroniques dans une salle blanche du CMI sur le campus de Lausanne pour fabriquer et caractériser une structure de résistance métallique. La lithographie, la gravure et la caractérisation électrique faisaient partie de ce processus.